Concept information
Terme préférentiel
lithographie par faisceau d'électrons
Concept(s) générique(s)
Synonyme(s)
- lithographie par faisceau électronique
- masquage électronique
Appartient au groupe
Traductions
-
anglais
-
espagnol
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/RDR-P1KD9GNK-K
{{label}}
{{#each values }} {{! loop through ConceptPropertyValue objects }}
{{#if prefLabel }}
{{/if}}
{{/each}}
{{#if notation }}{{ notation }} {{/if}}{{ prefLabel }}
{{#ifDifferentLabelLang lang }} ({{ lang }}){{/ifDifferentLabelLang}}
{{#if vocabName }}
{{ vocabName }}
{{/if}}