Concept information
Terme préférentiel
litografía por haz de electrónes
Concept(s) générique(s)
Appartient au groupe
- Design (en)
Traductions
-
anglais
-
français
-
lithographie par faisceau électronique
-
masquage électronique
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/RDR-P1KD9GNK-K
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