maskless lithography
litografía sin máscara
lithographie sans masque
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masquage électronique
lithographie par faisceau électronique
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Lithographie par faisceau d'électrons
Lithographie faisceau électron
Electron beam lithography
Litografía haz electrón
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litografía por haz de electrónes
electron beam lithography
lithographie par faisceau d'électrons